靜謐之力：探秘ULVAC愛發(fā)科RS系列與多級羅茨干泵的潔凈真空世界

更新時間：2026-01-26

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在上海一處現(xiàn)代化的半導體潔凈車間內，伴隨著低沉的運轉聲，一塊硅片正在完成薄膜沉積的關鍵工序。其背后真空系統(tǒng)的排氣口處，一臺不起眼的裝置正將原本尖銳的氣流噪音降為平和的低語，不僅優(yōu)化了工作環(huán)境，更為精密工藝的穩(wěn)定運行提供了保障。

在半導體制造、平板顯示（FPD）生產和精密光學鍍膜等工業(yè)領域，真空環(huán)境是實現(xiàn)微觀加工的基礎。

這些行業(yè)對真空的“潔凈度"有著追求——任何微量的油蒸氣或碳氫化合物污染都可能導致整批價值不菲的產品報廢。

正是在此背景下，無需油類密封液的干式真空泵成為了行業(yè)標配，而其中，多級羅茨型干泵因其獨特優(yōu)勢占據(jù)了核心地位。

愛發(fā)科（ULVAC）作為真空技術，構建了完備的多級羅茨干泵產品家族，而 “RS系列" 正是這一家族中專注于解決特定關鍵問題的精巧組件。

01 工業(yè)潔凈之需：從油泵到干泵的跨越

傳統(tǒng)油封式真空泵依靠油液進行密封、潤滑和散熱，在抽取工藝氣體時，油霧返流或油蒸氣污染真空腔室的風險始終存在。這在生產納米級電路或高性能光學膜層的場景中是致命缺陷。

干泵的出現(xiàn)是一場革命。它通過在泵腔內不使用任何密封液體，僅憑精密的機械結構實現(xiàn)氣體的壓縮和輸送，從而從根源上杜絕了油污染，可獲得真正意義上的清潔真空。

半導體和FPD產業(yè)的工藝氣體通常具有腐蝕性、易凝結或含有微小顆粒，對泵的耐腐蝕性、抗粉塵能力和穩(wěn)定性提出了極限挑戰(zhàn)，這直接推動了多級羅茨型干泵等高性能干泵技術的發(fā)展。

02 技術核心：多級羅茨干泵如何工作

多級羅茨型干泵是干泵技術上的一顆明珠，其設計哲學是將羅茨泵（機械增壓泵）多段集成于一體。

想象一下，在堅固的泵殼內，平行安置著兩個經過精密動平衡校正的三葉轉子。它們通過一組高精度齒輪的嚙合，以同步的轉速、嚴格相反的相位進行高速旋轉。

精妙之處在于，轉子與轉子之間、轉子與泵殼之間，始終保持著一道微米級的恒定間隙，彼此接觸。

氣體從進氣口進入，被旋轉的轉子“捕捉"并封閉在一個個由轉子葉片和泵殼形成的腔室內。隨著轉子的繼續(xù)旋轉，這些腔室的容積被壓縮，氣體被推向排氣側，壓力逐步升高。

所謂“多級"，是指轉子本身被設計成多段不同的螺距或形狀，相當于將多個壓縮級串聯(lián)在同一根軸上。

氣體從一級被初步壓縮后，直接進入第二級、第三級進行再壓縮，如此遞進，直至被壓縮至接近大氣壓并順利排出。

整個過程，氣體只與經過特殊表面處理的金屬轉子及泵殼接觸。齒輪和軸承的潤滑被密封在獨立的腔體中，確保油汽無法進入主泵腔，實現(xiàn)了清潔排氣。

03 產品家族：愛發(fā)科的多級羅茨干泵矩陣

為應對不同工藝的嚴苛要求，愛發(fā)科開發(fā)了多元化的多級羅茨干泵系列，每個系列都有其鮮明的技術側重點。

而RS系列在其中扮演了一個獨特而關鍵的角色——它并非一個獨立的泵型，而是專門為優(yōu)化多級羅茨干泵運行環(huán)境而設計的“消音器套件"。

系列型號	設計定位與核心技術特征	典型應用場景
HR/UR系列	高溫均熱化設計，將CVD（化學氣相沉積）、蝕刻工藝中產生的升華性副產物以氣體狀態(tài)排出，防止其在泵內凝結堵塞。UR系列可實現(xiàn)比HR系列更高的運行溫度。	CVD裝置、蝕刻裝置、灰化裝置、原子層沉積（ALD）
LR系列	低溫均熱化設計，專注于快速、高效地抽取大量惰性氣體（如氬氣）或清潔空氣，特別適合需要快速進行工藝循環(huán)的場景。	PVD（物理氣相沉積）的工藝腔室、頻繁裝載/卸載的傳輸腔室排氣
GR系列	基于成熟的LR/HR平臺，為通用工業(yè)領域設計的簡化結構泵，在保證核心性能的同時優(yōu)化成本。	工業(yè)爐、真空包裝、干燥、蒸餾等對潔凈真空有要求的通用工業(yè)流程
CR系列	空冷式羅茨型干泵，無需復雜的冷卻水系統(tǒng)，已獲得CE、cTUVus等國際認證，適合易于安裝和維護的場合。	實驗室研發(fā)、小型生產設備、空間受限或基礎設施簡單的安裝環(huán)境
RS系列	排氣噪音抑制專家，作為可選配件安裝在干泵排氣口，通過高效的消音結構顯著降低排氣噪聲，改善工作環(huán)境。	所有需要降低噪音排放的干泵應用現(xiàn)場，特別是對工作環(huán)境噪聲有嚴格要求的車間或實驗室

RS系列消音器通過專用卡箍與泵的排氣口直接連接，安裝便捷。其消音效果，根據(jù)參考數(shù)據(jù)，對于特定泵型，加裝RS系列消音器后，排氣噪音可降低11至20分貝。這種從細微處著手、提升整體系統(tǒng)友好度的設計，體現(xiàn)了愛發(fā)科全面的產品生態(tài)思維。

04 應用賦能：驅動制造的隱形引擎

多級羅茨干泵及RS消音系統(tǒng)的價值，在其廣泛而關鍵的應用中得以彰顯。

在半導體前端制造中，它們?yōu)榈入x子刻蝕、化學氣相沉積（CVD）等核心設備提供穩(wěn)定、潔凈的真空環(huán)境，其耐腐蝕和抗粉塵特性是應對腐蝕性工藝氣體的關鍵。

在平板顯示（FPD）制造中，用于大型玻璃基板的鍍膜、清洗和干燥工序，其大抽速和快速響應能力保障了高產能需求。

在科研與精密光學領域，從空間環(huán)境模擬到引力波探測激光干涉儀的真空維持，再到高性能光學鍍膜，對真空的潔凈度和極限壓力有近乎的要求，多級羅茨干泵成為基礎支撐。

而RS消音器的存在，則讓這些強大的工業(yè)心臟運行得更為安靜，直接改善了操作人員的工作環(huán)境，并有助于滿足日益嚴格的工業(yè)場所噪聲排放法規(guī)。

05 前沿趨勢：智能化與能效的融合

干泵技術正朝著更智能、更高效的方向演進。以愛發(fā)科HR/UR系列為例，它們已集成通信功能，可遠程讀取泵的運行狀態(tài)、警告和報警歷史，通過專用軟件可實現(xiàn)集中監(jiān)控和預測性維護。

面對電網波動，瞬停對策技術（如在1000毫秒內應對瞬時停電）能大限度保護工藝和泵體本身。此外，如 “ECO-SHOCK" 這類劃時代的節(jié)能部件，通過搭載在現(xiàn)有干泵上即可實現(xiàn)大幅省電，響應了制造業(yè)的綠色低碳號召。

從確保芯片良率的嚴苛工藝腔室，到靜謐運轉的科研實驗室，愛發(fā)科的多級羅茨干泵及其RS消音系統(tǒng)，共同構建了一個強大而潔凈的真空基礎架構。

它們不僅是抽取氣體的機械，更是保障現(xiàn)代高科技產業(yè)精密性、可靠性與可持續(xù)性的基石。在微觀世界制造的競賽中，誰掌握了更潔凈、更智能、更友好的真空技術，誰就握有了通向未來的關鍵鑰匙。