ULVAC 愛發(fā)科現貨皮拉尼真空計（代表機型 GP-1G/2G、GP-G 系列、GC10 系列）是低-中真空（103~5×10?2 Pa）領域的主流傳感器。它把“氣體分子帶走的熱量"轉換成電信號，再經恒溫橋式電路、線性化算法、溫度補償、數字濾波等多級處理，最終輸出與壓力呈線性關系的 DC 0-10 V、RS-232/485、BCD 或 Profibus 信號。以下從工作原理、結構細節(jié)、關鍵特性、典型選型、安裝維護、故障診斷、應用案例七個維度展開 1500 字以上的深度解析，供設計、工藝、維護人員參考。
────────────────一、工作原理：從宏觀熱傳導到微觀分子碰撞
熱傳導真空規(guī)的宏觀定義
在克努森數 Kn<0.01 的粘滯流區(qū)域，氣體熱傳導系數 k 與壓力 p 成正比；在 Kn>1 的分子流區(qū)域，k 與 p 成線性關系。皮拉尼真空計正是利用 0.5~100 Pa 之間 k∝p 的過渡區(qū)，通過測量熱絲（Sensor Wire）因分子碰撞損失的熱量，來反推壓力。
恒溫橋式電路（Constant-Temperature Pirani）
ULVAC 采用兩級惠斯通電橋：
第一級：Pt 細絲與參考電阻 Rref 組成主橋臂；
第二級：運算放大器+功率晶體管形成閉環(huán)，使燈絲溫度恒定在 110 ℃（典型值）。
當壓力升高 → 熱損失加大 → 閉環(huán)立即提高加熱電流 IH 以維持溫度；IH 與 p 的關系由實驗標定為
IH = I0 + k·p /(1+α·p)
其中 I0 為零壓殘余電流，k、α 為燈絲常數。數字 MCU 將 IH 經 12-bit ADC 采樣后，查表線性化，輸出標準信號。
溫度補償與環(huán)境修正
ULVAC 在傳感器頭部內置 10 kΩ NTC 熱敏電阻，實時檢測環(huán)境溫度 0-50 ℃，MCU 以 1 Hz 頻率對 k 值進行二階補償，保證全溫區(qū)精度 <±3 %。
對于含氫、氦等高熱導率氣體的工藝，用戶可通過面板或串口輸入氣體系數（N?=1.00，H?=2.40，He=1.85），MCU 自動修正讀數，避免 50 % 以上誤差。
────────────────二、結構細節(jié)：從燈絲到表頭
測定子（Sensor Gauge Head）
燈絲：φ15 µm 純鉑，表面濺射 0.2 µm 氧化鋁絕緣層，防止碳氫聚合；
支架：雙云母片+不銹鋼 304L 彈簧，抗 200 ℃ 烘烤；
外殼：KF16/25/40、CF16/35、NPT1/8 可選，內部拋光 Ra 0.2 µm，減少放氣；
防護：燈絲上方 100 µm 金屬網，防止機械沖擊；
互換性：同一表頭±10 % 互換誤差，無需重新校準。
控制單元（Controller）
電源：DC 24 V±10 %，功耗 5 W；
顯示：4? 位 OLED，亮度 7 級可調，真空單位 Pa/mbar/Torr 一鍵切換；
設定點：2-3 組 SPST 繼電器，觸點 250 VAC 2 A，帶 LED 狀態(tài)指示；
通訊：標準 RS-232C（115200 bps），可選 RS-485/Profibus DP；
面板：DIN 96×48 mm，IP40 前面板，插入深度 110 mm，可 90° 旋轉安裝。
────────────────三、關鍵性能指標（以 GP-1G 為例）
測量范圍：1×10? Pa（大氣）~5×10?2 Pa
再現性：±2 %/year（燈絲老化補償后）
響應時間：T90<30 ms（粘滯流區(qū)），T90<500 ms（10?1 Pa）
溫度系數：<0.05 %/°C
抗污染：燈絲可在 1000 ppm C?H? 下長期工作 3000 h
電磁兼容：EN 61326-1 Class A，CE 認證
防護等級：表頭 IP40，遠程傳感器 IP54（加波紋管）
────────────────四、選型與訂貨號
標準型
GP-1G-S（KF16 表頭）+ GC10-RS（控制單元）
防腐型
GP-1G-HC（燈絲鍍金 0.5 µm，耐氟化工藝）
高溫烘烤型
GP-1G-BK（可 200 ℃ 烘烤 24 h，CF35 法蘭）
多通道型
GC10-4CH（一臺控制器帶 4 路表頭，節(jié)省機柜空間）
────────────────五、安裝與配管
位置選擇
電氣連接
熱線電話：135 3073 5388
ULVAC 愛發(fā)科現貨皮拉尼真空計的工作原理和產品特性
更新時間：2025-07-26
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